| 編號 | 條目 | 單位 | 指標 | 備注 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 材料 | - | 橡膠 | 特種無殘留橡膠 |
| 2 | 使用時間 | 年/次 | 3年/15萬次 | 根據(jù)客戶使用環(huán)境定,需定期清潔 |
| 3 | 平整度 | μm | ＜10μm | 激光測定 |
| 4 | 高度 | μm | 00-125μm | 0.5Kpa氣壓 |
| 5 | 黏著力 | N | 15 | 10N預(yù)壓力，石英玻璃 |
| 6 | 使用溫度 | ℃ | -40-260℃ | 溫度越高，黏附力越低 |
| 7 | 清潔方法 | - | IPA/Ethanol | 用無塵布擦拭處理，不可浸泡 |
| - | 靜電吸附 | 物理吸附 |
|---|---|---|
| 吸附原理 | 庫侖力 | 分子間作用力 |
| 接觸材料 | 聚酰亞胺 | 帶微結(jié)構(gòu)橡膠 |
| 貼合精度 | 受靜電力殘留和影響會發(fā)生中心偏移 | 非常穩(wěn)定 |
| 吸附時間 | 比物理吸附多5-10s | 120s以下 |
| 靜電 | 易發(fā)生 | 無靜電 |
| 故障相關(guān) | 異物影響大，易發(fā)生故障，更換不變 | 異物影響小，易更換，故障率低 |
應(yīng)用行業(yè)：LCD， OLCD， SEMICON
應(yīng)用工藝：真空貼合，真空鍍膜，先進封裝，晶圓搬運
應(yīng)用設(shè)備：真空貼合機，PVD，CVD，封裝設(shè)備，半導(dǎo)體機器人
應(yīng)用對象：玻璃，硅片，陶瓷，薄膜
